檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "趙良君".cadvisor (精準) and year="103"
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本研究利用反應式離子束濺鍍法成功地沉積了氧化鎳以及氧化鎳摻銅薄膜,並針對研究氧氣流量比、沉積基板溫度以及摻銅濃度比例對於氧化鎳薄膜的光電特性影響。氧氣流量比的提升會造成薄膜內鎳空缺的濃度增加,使得在…
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本研究利用反應式離子束濺鍍法沉積氧化鈷與摻銅氧化鈷薄膜,改變氧氣/氬氧的流量比例(Opf = O2/(Ar+O2))及沉積溫度,探討製程參數對氧化鈷及摻銅氧化鈷之影響。研究結果顯示在室溫下所沉積之樣…